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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种薄膜气相沉积加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117286476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311513170.5，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权一种薄膜气相沉积加热装置是由邓超;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜气相沉积加热装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种薄膜气相沉积加热装置，包括沉积腔和旋转装置；旋转装置包括：设在沉积腔下方的基座、设在基座上的磁流体密封传动装置、设在沉积腔内的加热盘、与磁流体密封传动装置配合的空心轴以及驱动空心轴转动的驱动装置；空心轴上端穿入沉积腔后固连加热盘；基座具有安装腔，空心轴下端穿入安装腔并连接有旋转电连接部件；旋转电连接部件包括：固设在空心轴下端的绝缘轴、均设在基座上且分别连接绝缘轴的滑环组件和电刷组件；加热盘内设有加热管和温度传感器，加热管和温度传感器均依次经空心轴内和绝缘轴分别电连接电刷组件和滑环组件；滑环组件和电刷组件用于旋转时的供电。本发明防止了旋转时供电导线的扭转纠缠并且满足电路的供电。

本发明授权一种薄膜气相沉积加热装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，包括沉积腔1和旋转装置；所述旋转装置包括：设在所述沉积腔1下方的基座21、设在所述基座21上的磁流体密封传动装置22、设在所述沉积腔1内的加热盘23、与所述磁流体密封传动装置22配合的空心轴24以及驱动所述空心轴24转动的驱动装置25；所述空心轴24上端穿入所述沉积腔1后固定连接所述加热盘23；所述基座21具有安装腔，所述空心轴24下端穿入所述安装腔并连接有旋转电连接部件；所述旋转电连接部件包括：固设在所述空心轴24下端的绝缘轴51、均设在所述基座21上且分别连接所述绝缘轴51的滑环组件和电刷组件；所述加热盘23内设有加热管3和温度传感器4，所述加热管3和温度传感器4均依次经所述空心轴24内部和所述绝缘轴51分别电连接所述电刷组件和滑环组件；所述滑环组件和电刷组件用于旋转时的供电； 所述滑环组件包括：设在所述基座21上且与所述空心轴24同轴的定子521、相对所述定子521转动的转子522、连接所述转子522和温度传感器4的连接电缆523及设在所述定子521上的信号电缆； 所述转子522朝向所述绝缘轴51的一端延伸出所述定子521后套设有绝缘套524；所述绝缘套524上固设有沿径向的紧定螺钉525，所述紧定螺钉525的头部顶紧所述转子522、尾部延伸出所述绝缘套524；所述绝缘轴51上固设有支杆526，所述支杆526带动所述紧定螺钉525绕所述转子522轴线转动； 所述电刷组件包括：分别设在所述绝缘轴51外周面的正极导电带、和负极导电带、分别与所述正极导电带和负极导电带电接触的正极电刷533和负极电刷534、设在所述基座21上的绝缘支座组件；所述绝缘支座组件用于固定所述正极电刷533和负极电刷534； 所述绝缘支座组件包括：第一绝缘支座536、第二绝缘支座537、第三绝缘支座538及固定件539；所述第三绝缘支座538为T型空心轴状，所述第三绝缘支座538由上方依次贯穿正极电刷533、第二绝缘支座537、所述第一绝缘支座536及负极电刷534；所述固定件539为T型轴状，所述固定件539由上方插入所述第三绝缘支座538并与所述基座21固定连接。

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