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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117284553B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311503392.9，技术领域涉及：B65B31/02；该发明授权一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置是由康永;孙聂枫;王书杰;邵会民;姜剑;谷伟侠设计研发完成，并于2023-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置，涉及半导体的制备技术领域。该注入合成用磷承载器的装填及密封装置，包括支撑筒，所述支撑筒的下端设置有转动电机，所述支撑筒和转动电机之间设置有离合器，所述支撑筒一侧壁设置有真空阀门，所述支撑筒上端设置有上盖，所述上盖的上端设置有上保护罩，所述上盖的两侧边缘均开设有密封槽，所述密封槽内部设置有密封圈，所述上保护罩下端与支撑筒上端均开设有密封槽。本发明中，该装置在惰性气体保护下进行装填，在真空环境下进行高温密封，可以实时监测密封过程的密封程度，能够有效的避免出现磷的燃烧现象，更安全可靠，该工艺过程安全可靠，自动化程度高，环保安全。

本发明授权一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置在权利要求书中公布了：1.一种注入合成用磷承载器的装填及密封装置，包括支撑筒1，其特征在于：所述支撑筒1的下端设置有转动电机12，所述支撑筒1和转动电机12之间设置有离合器11，所述支撑筒1一侧壁设置有真空阀门9； 所述支撑筒1上端设置有上盖2，所述上盖2的上端设置有上保护罩13，所述上盖2的两侧边缘均开设有密封槽，所述密封槽内部设置有密封圈16，所述上保护罩13下端与支撑筒1上端均开设有密封槽，所述上保护罩13和支撑筒1上密封槽的尺寸与位置和上盖2两侧的密封槽一致，所述上保护罩13的顶部中心处开设有装载孔18； 所述上盖2的上端中部设置有磷承载器4，所述磷承载器4的下端中部设置有注入管6，所述磷承载器4的上端开设有投料孔19，所述装载孔18的内部设置有漏斗14，所述漏斗14的下端伸入投料孔19的内部； 所述真空阀门9的下端和上端分别设置有充放气阀门10和真空计20，所述真空计20端部伸入支撑筒1的内部； 所述上盖2的中部开设有过渡孔17，所述注入管6的下端穿过过渡孔17内部； 所述上盖2和磷承载器4之间设置有第一密封垫3； 所述漏斗14和上保护罩13之间设置有第二密封垫15。

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