FEI公司S·M·凯洛格获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI公司申请的专利用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117253768B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310712927.7，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法是由S·M·凯洛格;M·玛兹欧兹;J·B·迈克吉恩设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了，通过特别是在散焦CPB照明盘的边缘处扫描对准孔来确定带电粒子束CPB源位置的变化，该对准孔相对于CPB中的束限定孔是固定的。该对准孔可操作以将CPB部分传输到二次发射表面，该二次发射表面产生引导到闪烁体元件的二次发射。作为响应产生的闪烁光通过光导从与该CPB相关联的真空外壳向外引导到外部光电检测系统。
本发明授权用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束CPB对准设备，所述带电粒子束对准设备包括： 对准孔板，所述对准孔板限定对准孔； 二次发射元件，所述二次发射元件被定位成接收由所述对准孔透射的CPB的一部分，并且所述二次发射元件能够操作以作为响应产生二次发射； 闪烁体元件，所述闪烁体元件被定位成接收所述二次发射的至少一部分并作为响应产生闪烁光；和 光电检测器，所述光电检测器被定位成接收在所述闪烁体元件处产生的所述闪烁光， 其中，所述对准孔是能移动的以便接收所述带电粒子束，使得所述闪烁光被所述光电检测器检测到，从而能够定位所述带电粒子束的轴线。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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