北京亦盛精密半导体有限公司荆凯获国家专利权
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龙图腾网获悉北京亦盛精密半导体有限公司申请的专利一种半导体石英环及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209160B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311048912.1，技术领域涉及：C03C15/02；该发明授权一种半导体石英环及其制备方法是由荆凯;张慧;杨学辉设计研发完成，并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体石英环及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体器件领域，具体公开了一种半导体石英环及其制备方法。该制备方法包括：将石英毛坯进行机床粗加工，得到石英环初品；将石英环初品置于第一碱性清洗剂中进行超声清洗，并用水进行超声漂洗；将石英环初品置于氢氟酸溶液中进行腐蚀，并漂洗；再将石英环初品置于第二碱性清洗剂中，于80‑90℃下浸泡1.5‑3h进行高温碱洗后，超声漂洗；再次重复超声清洗步骤，并经超声漂洗、干燥后得到表面粗糙度Ra＞20μin的半导体石英环。这种制备方法，无须采用人工喷砂和精加工步骤，能够保证同批加工制得的石英环表面质量的一致性和均匀性。
本发明授权一种半导体石英环及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体石英环的制备方法，其特征在于，其包括: 将石英毛坯进行机床粗加工，得到表面粗糙度Ra为14-18μin的石英环初品； 将所述石英环初品置于第一碱性清洗剂中进行超声清洗，并用水进行超声漂洗； 将所述石英环初品置于浓度为5-8wt%的氢氟酸溶液中进行腐蚀5-8min，并漂洗； 再将所述石英环初品置于第二碱性清洗剂中，于80-90℃下浸泡1.5-3h进行高温碱洗后，超声漂洗，所述第二碱性清洗剂中含有10-15wt%的KOH或NaOH； 再次重复所述超声清洗步骤，并经超声漂洗、干燥后得到表面粗糙度Ra为20-30μin的半导体石英环。
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