上海应用技术大学黄彪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海应用技术大学申请的专利一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116926468B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310837173.8,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法是由黄彪;张而耕;周琼;陈强;梁丹丹;王涛;岗志远设计研发完成,并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法,该梯度复合涂层包括依次沉积于基体1表面的CrN打底层2、CrAlN过渡层3、CrAlSiN中间层4和CrAlSiNO层5,所述的梯度复合涂层总厚度为6.5~8.5μm;该方法通过阴极电弧离子镀工艺制备梯度复合涂层,包括基体1表面活化、CrN打底层2制备、CrAlN过渡层3制备、CrAlSiN中间层4制备和CrAlSiNO层5制备。与现有技术相比,本发明的梯度复合涂层表现出优异的高温抗氧化性、良好的力学性能以及耐磨性,且制备方法简单,易于实施,应用于高温轴承上使得高温轴承的使用寿命进一步提升。
本发明授权一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层,其特征在于,该梯度复合涂层应用于高温轴承上,所述的梯度复合涂层包括依次沉积于基体1表面的CrN打底层2、CrAlN过渡层3、CrAlSiN中间层4和CrAlSiNO层5,所述的梯度复合涂层总厚度为6.5~8.5μm; 所述的CrN打底层2厚度为0.1~0.3μm,所述的CrAlN过渡层3厚度为0.15~0.45μm,所述的CrAlSiN中间层4厚度为1.85~2.15μm,所述的CrAlSiNO层5厚度为4.4~5.6μm; 所述的CrN打底层2制备时,Cr靶电流为120~140A; 反应气体为氮气,流量为100~150sccm; 沉积偏压为-120~-100V,时间为10~15min; 所述的CrAlN过渡层3制备时,CrAl靶电流为110~130A; 反应气体为氮气,流量为130~170sccm; 沉积偏压为-140~-110V,时间为12~18min; 所述的CrAlSiN中间层4制备时,CrAl靶电流为110~130A,CrSi靶电流为130~160A; 反应气体为氮气,流量为160~220sccm; 沉积偏压为-130~-100V,时间为60~80min; 所述的CrAlSiNO层5制备时,CrAl靶电流为150~180A,CrSi靶电流为170~200A; 反应气体为氮气和氧气,流量分别为150~190sccm和20~45sccm; 沉积偏压为-150~-120V,时间为90~140min。
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