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南亚科技股份有限公司何庚寰获国家专利权

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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利制造缺陷原因的识别系统以及非暂时性电脑可读媒体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116645313B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211740855.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权制造缺陷原因的识别系统以及非暂时性电脑可读媒体是由何庚寰设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

制造缺陷原因的识别系统以及非暂时性电脑可读媒体在说明书摘要公布了:本公开提供一种制造缺陷原因的识别系统以及非暂时性电脑可读媒体。该识别系统包括一处理单元以及一影像撷取单元,该影像撷取单元电性耦接到该处理单元。该识别系统经配置以借由该影像撷取单元而撷取覆盖一半导体晶圆的不同部分的N个影像,其中该N个影像的每一个包括M个几何特征。该识别系统还经配置以指定M个序号,而该M个序号的每一个与该M个几何特征的其中一个相关联。该识别系统还经配置以借由该处理单元而计算N个影像的该等几何特征的每一个的一几何中心。该识别系统还经配置以依据该N个影像而计算与该M个序号相关联的M个平均几何中心。该识别系统还经配置以计算针对该N个影像的每一个几何特征的一偏移量。

本发明授权制造缺陷原因的识别系统以及非暂时性电脑可读媒体在权利要求书中公布了:1.一种制造缺陷原因的识别系统,包括: 一处理单元; 一影像撷取单元,电性耦接到该处理单元,其中该识别系统经配置以执行多个步骤,包括: 借由该影像撷取单元而撷取N个影像以覆盖一半导体晶圆的不同部分,其中该N个影像的每一个包括M个几何特征; 针对该N个影像的每一个影像均指定M个序号,而该M个序号的每一个序号与相应影像的M个几何特征的其中一个相关联; 借由该处理单元计算该N个影像的每一个几何特征的一几何中心; 依据该N个影像中具有相同序号的N个几何特征的几何中心而计算与该M个序号相关联的M个平均几何中心;以及 计算该N个影像的每一个几何特征的一偏移量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南亚科技股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新北市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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