安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司张强获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆外观自动检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116559083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310564067.7，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶圆外观自动检测装置是由张强;何炜颖;楚磊设计研发完成，并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆外观自动检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆外观自动检测装置，一种晶圆外观自动检测装置，包括：检测底座、转动单元、检测单元、控制轨道、控制组件等组件，通过检测单元能够对晶圆表面进行厚度以及划痕检测，通过设置控制组件能够控制晶圆在检测过程中翻转180°，以对晶圆的背面进行检测，实现连续检测过程。该发明能够一次性对晶圆两侧表面的划痕以及厚度进行检测，提高了晶圆检测的效率。
本发明授权一种晶圆外观自动检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆外观自动检测装置，其特征在于，包括： 检测底座300， 转动单元800，安装于检测底座300上端，用于限位晶圆100并控制晶圆100在水平面上围绕自身轴线转动； 检测单元200，设置于转动单元800上端朝向晶圆100； 控制轨道400，包括若干个导向杆410，所述导向杆410之间形成驱动轨道420，驱动轨道420包括从上往下依次布置的错位轨道422以及翻转轨道423，所述错位轨道422竖直布置，所述翻转轨道423朝着外侧倾斜设置； 控制组件600，包括控制主体以及控制末端，控制主体设置于驱动轨道420内且可沿着错位轨道422以及翻转轨道423线性移动，其中控制组件600移动至错位轨道422内，控制主体以及控制末端错开以控制晶圆100翻转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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