福州天瑞线锯科技有限公司魏聪颖获国家专利权
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龙图腾网获悉福州天瑞线锯科技有限公司申请的专利一种硅片吸盘吸附方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116494411B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310623797.X，技术领域涉及：B28D7/04；该发明授权一种硅片吸盘吸附方法是由魏聪颖;杨华英;何德镜;郑志伟;李欣;高士雄;林周琛;范舒彬;刘铭焕;李海威;李波;薛健忠;谢丹云设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片吸盘吸附方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅片吸盘吸附方法，切片之前，伸缩机构定位后驱动吸盘伸出设定长度使吸盘与硅棒接触；吸盘产生负压吸住晶棒表面，保持吸盘位置，吸盘保持吸力；伸缩机构锁止行程；在伸缩机构解除硅棒表面后及锁止行程之前解除对硅棒表面的压力。伸缩端具有防止移动的锁紧装置；伸缩装置控制吸盘在接触硅棒表面后解除对硅棒表面的压力，使伸缩装置能够在锁紧行程之前具有自适应调节的能力避免对硅棒的有轴向的压力过大而破裂；伸缩机构锁紧行程后不对硅片产生额外的应力，切割过程及产品质量稳定。
本发明授权一种硅片吸盘吸附方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片吸盘吸附方法，其特征在于，利用一吸盘组件，所述吸盘组件包括能产生负压的吸盘及驱动吸盘朝向硅片伸缩的伸缩机构； 具体步骤如下： S1:切片之前，伸缩机构定位后驱动吸盘伸出设定长度使吸盘与硅棒接触； S2:吸盘产生负压吸住晶棒表面，保持吸盘位置，吸盘保持吸力； S3:伸缩机构锁止行程； S4:割刀具对硅棒进行切割后硅片切割的硅片吸附在吸盘上； 在步骤S1完成后，步骤S3之前伸缩机构解除对硅棒表面的压力； 所述吸盘组件设置在吸盘架上，所述吸盘组件设置于一移动组件上，以驱动吸盘组件靠近或远离硅棒，所述吸盘组件或吸盘架上具有感应吸盘伸缩长度的第一传感器； 所述伸缩机构定位包括以下步骤： 1伸缩机构驱动吸盘伸出，伸缩机构解除对吸盘的压力，移动吸盘组件使吸盘靠近接触硅棒端部； 2当吸盘遇到硅棒后，伸缩机构的伸缩端会被硅棒顶住回缩，第一传感器预警； 步骤S1中伸缩机构驱动吸盘伸出设定长度大于吸盘组件远离硅棒端面行程距离，并使吸盘接触硅棒表面。
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