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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116339078B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310116536.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法是由陈修国;陈文龙;胡静;杨世龙;王逸夫;刘世元设计研发完成，并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于集成电路制造光学在线测量技术领域，公开了一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法，装置包括：探测光产生模块用于产生探测光；光谱调制模块用于将探测光依次进行第一次偏振、第一次相位调制后以不同的入射角照射在待测套刻样件上，并对反射后的多束光束依次进行第二次相位调制和第二次偏振，得到待测套刻样件反射的偏振调制光；角分辨光谱采集模块用于对所述偏振调制光进行光谱成像，得到待测套刻样件的角分辨光谱；套刻误差测量模块用于基于所述角分辨光谱获得在不同入射角下的待测套刻样件的套刻误差。本发明能够提升套刻误差的测量精度和测量的稳定性，克服了斜入射式结构光斑大的缺点，还保留了快照式椭偏仪简单快速测量的优点。

本发明授权一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种角分辨快照式套刻误差测量装置，其特征在于，包括： 探测光产生模块，用于产生探测光； 光谱调制模块，用于将所述探测光依次进行第一次偏振、第一次相位调制后以不同的入射角照射在待测套刻样件上，对经过待测套刻样件反射之后的多束光依次进行第二次相位调制和第二次偏振，得到待测套刻样件反射的偏振调制光； 角分辨光谱采集模块，用于对所述偏振调制光进行光谱成像，得到待测套刻样件的角分辨光谱； 套刻误差测量模块，用于基于所述角分辨光谱，获得在不同入射角下的待测套刻样件的穆勒矩阵非对角元素的线性组合，进而得到套刻误差； 所述光谱调制模块沿光路依次包括：起偏器4、第一相位延迟器5、光阑6、第一非偏振分束镜7、第一透镜8、物镜9、第二相位延迟器11和检偏器12； 所述探测光经过所述起偏器4后转变为线偏振光，经所述第一相位延迟器5进行第一次相位调制，透过所述光阑6的探测光束经过所述第一非偏振分束镜7改变光束的传播方向后，经所述第一透镜8聚焦至所述物镜9的后焦面上； 所述物镜9的前焦面与待测套刻样件10的表面重合，在所述物镜9的作用下形成多束光分别以不同的入射角照射在待测套刻样件10上； 经待测套刻样件10反射后的多束光再次透过所述物镜9、所述第一透镜8和所述第一非偏振分束镜7后，经所述第二相位延迟器11进行第二次相位调制，并经所述检偏器12得到所述偏振调制光； 所述角分辨光谱采集模块包括第二透镜13和成像光谱仪15； 所述第二透镜13用于对所述偏振调制光汇聚，所述成像光谱仪15用于对汇聚后的调制光进行光谱成像得到所述角分辨光谱。

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