天狼芯半导体(成都)有限公司刘浩文获国家专利权
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龙图腾网获悉天狼芯半导体(成都)有限公司申请的专利ESD保护器件、制作方法及芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116314179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310182258.7,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权ESD保护器件、制作方法及芯片是由刘浩文设计研发完成,并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本ESD保护器件、制作方法及芯片在说明书摘要公布了:本申请公开了一种ESD保护器件、制作方法及芯片,涉及半导体器件技术领域。ESD保护器件包括半导体衬底;分别形成于半导体衬底上的N型阱区和P型阱区;分别形成于N型阱区上的第一N型重掺杂区和第一P型重掺杂区;分别形成于P型阱区上的第二N型重掺杂区和第二P型重掺杂区。第二N型重掺杂区与第一P型重掺杂区相对设置,第二P型重掺杂区与第一N型重掺杂区相对设置。本申请实施例提供的ESD保护器件,不仅可以节省占用芯片的面积,而且可以在ESD保护器件中形成多组并联的寄生的NPN三极管和PNP三极管,从而使得寄生的NPN三极管和PNP三极管的开启电压更小、开启更加均匀,以提高ESD保护器件的稳定性。
本发明授权ESD保护器件、制作方法及芯片在权利要求书中公布了:1.ESD保护器件,其特征在于,包括: 半导体衬底; N型阱区、P型阱区,分别形成于所述半导体衬底上,且所述N型阱区与所述P型阱区相互接触; 第一N型重掺杂区、第一P型重掺杂区,分别形成于所述N型阱区上;所述第一N型重掺杂区、所述第一P型重掺杂区作为所述ESD保护器件的阳极掺杂区; 第二N型重掺杂区、第二P型重掺杂区,分别形成于所述P型阱区上;其中,所述第二N型重掺杂区与所述第一P型重掺杂区相对设置,所述第二P型重掺杂区与所述第一N型重掺杂区相对设置;所述第二N型重掺杂区与所述第二P型重掺杂区作为所述ESD保护器件的阴极掺杂区; 第一介质隔离层,形成于所述第一N型重掺杂区、第一P型重掺杂区上; 第二介质隔离层,形成于所述第二N型重掺杂区、第二P型重掺杂区上; 阳极金属层,形成于所述第一N型重掺杂区、第一P型重掺杂区以及所述第一介质隔离层上; 阴极金属层,形成于所述第二N型重掺杂区、第二P型重掺杂区以及所述第二介质隔离层上。
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