西北工业大学宁波研究院;西北工业大学虞益挺获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学宁波研究院;西北工业大学申请的专利一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116300052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173932.5，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法是由虞益挺;肖星辰;董雪;毛挺设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法，涉及微光机电系统技术领域，本发明由多组等间距排列的微镜单元组成；所述微镜单元包括第一基底和第二基底；所述第一基底上设置有扭转梁和电气绝缘层，所述扭转梁下方开设有背腔，沿所述扭转梁中心轴线在所述电气绝缘层上对称分布设置有第一寻址电极和第二寻址电极，所述第一寻址电极和所述第二寻址电极上分布设有接触凸点；所述第二基底用于供操作人员加工镜面，在所述镜面上设有用于连接所述扭转梁的镜面锚点。本方法能够克服微镜阵列在光谱成像系统中光场匹配性差、固有扭转方式和阵列形式导致目标光学信息采集丢失的问题。
本发明授权一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构，其特征在于，由多组等间距排列的微镜单元组成； 所述微镜单元包括第一基底1和第二基底10； 所述第一基底1上设置有扭转梁2和电气绝缘层3，所述扭转梁2下方开设有背腔9，沿所述扭转梁2中心轴线在所述电气绝缘层3上对称分布设置有第一寻址电极4和第二寻址电极5，所述第一寻址电极4和所述第二寻址电极5上分布设有接触凸点6； 所述第二基底10用于供操作人员加工镜面8，在所述镜面8上设有用于连接所述扭转梁2的镜面锚点7； 所述第一基底1为所述镜面8提供接地信号，所述接地信号依次通过所述第一基底1、所述扭转梁2、所述镜面锚点7传递至所述镜面8。
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