江西沃格光电股份有限公司张迅获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江西沃格光电股份有限公司申请的专利高阻膜及其制备方法和触控显示面板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116240508B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310137851.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权高阻膜及其制备方法和触控显示面板是由张迅;易伟华;郑芳平;欧阳小园设计研发完成，并于2023-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本高阻膜及其制备方法和触控显示面板在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高阻膜及其制备方法和触控显示面板。高阻膜的制备方法包括以下步骤：于真空条件下，向基板的表面提供工作气体，并施加磁场；施加电场使所述工作气体离化，利用所得离子轰击FTO靶材，使所述FTO靶材溅射出来的粒子沉积于所述基板的表面，制得所述高阻膜；其中，所述工作气体包括流量比为0～2：10～20的氧气和惰性气体，所述电场的功率为2kW～4kW，所述FTO靶材的锡元素和氟元素的摩尔比为10：1～8。该制备方法通过工作气体中的氧含量、电场的功率以及FTO靶材中的锡氟摩尔比这三个工艺参数之间的协同配合，采用磁控溅射工艺在基板上沉积得到兼具良好方阻稳定性和高透光率的高阻膜。
本发明授权高阻膜及其制备方法和触控显示面板在权利要求书中公布了：1.一种触控显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 于真空条件下，向基板的表面提供工作气体，并施加磁场； 施加电场使所述工作气体离化，利用所得离子轰击FTO靶材，使所述FTO靶材溅射出来的粒子沉积于所述基板的表面，制得高阻膜； 将所述高阻膜与保护玻璃通过电极连接制成所述触控显示面板； 其中，所述工作气体包括流量比为0~2：10~20的氧气和惰性气体，所述工作气体包括流量为≤15sccm的氧气，且所述氧气的流量不为0，所述电场的功率为2kW~4kW，所述FTO靶材的锡元素和氟元素的摩尔比为10：1~8； 所述沉积的时间为30s~120s； 所述工作气体包括流量为100sccm~200sccm的氩气; 所述高阻膜的厚度为5nm~8nm； 所述高阻膜的方阻为1×107Ω□~1×1010Ω□； 所述高阻膜在550nm下的透光率为95%~99%。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江西沃格光电股份有限公司，其通讯地址为：338004 江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励