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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种白光干涉检焦系统和解调方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116007515B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211742364.8，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权一种白光干涉检焦系统和解调方法是由褚燕武;龚天诚;王彦钦;赵承伟;张煜;贾桂园设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种白光干涉检焦系统和解调方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种白光干涉检焦系统和解调方法，该系统包括：白光光源；模板，其上制备有图形；基板，放置于承片台上；光谱仪，用于透过图形采集模板与基板之间的白光干涉信号；控制系统，用于根据干涉信号采用傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法或模型传递解调方法计算模板与基板之间的间隙值。本公开利用该检焦系统，在较大的距离测量范围内，根据反射光谱的不同形状，采取不同的解调方法，该间隙解调方法消除了图形化表面对检焦光谱的影响，突破了因检焦窗口导致的对模板图形布局的限制。

本发明授权一种白光干涉检焦系统和解调方法在权利要求书中公布了：1.一种利用白光干涉检焦系统进行间隙解调的方法，其特征在于，所述白光干涉检焦系统包括： 白光光源1； 模板2，其上制备有图形3； 基板4，放置于承片台5上； 光谱仪7，用于透过所述图形3采集所述模板2与所述基板4之间的白光干涉信号； 控制系统8，用于根据所述干涉信号采用傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法或模型传递解调方法计算所述模板2与所述基板4之间的间隙值； 所述方法包括： S1，采集模板2与基板4之间的白光干涉信号，得到样本光谱； S2，对所述样本光谱进行峰值检测，并根据所述峰值检测的结果进行光谱预处理； S3，根据预先采集的参考光谱和所述S2预处理后的样本光谱，计算得到反射光谱； S4，根据所述反射光谱的形状，确定解调方法计算所述模板2与所述基板4之间的间隙值；其中，所述解调方法包括傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法和模型传递解调方法中的一种； 所述S4中确定解调方法包括：根据所述反射光谱的形状，判断所述模板2与所述基板4之间的间隙预估值；当所述间隙预估值小于第二阈值时，采用所述模型传递解调方法计算所述间隙值； 所述采用所述模型传递解调方法计算所述间隙值包括模型传递步骤和互相关解调步骤； 所述模型传递步骤包括： S431，初始化粒子群优化参数和神经网络参数，所述神经网络参数包括隐含层数量、隐含层节点数、激活函数、随机生成权重和偏移向量； S432，回调激活函数，输出所述神经网络计算的反射光谱； S433，计算所述粒子群的适应度，若所述适应度小于设定阈值，则对所述粒子群进行更新； S434，更新直至所述适应度不小于所述设定阈值，输出优化后的神经网络参数； S435，利用所述S434所得的神经网络参数进行光谱模型传递，输出反射光谱； 所述互相关解调步骤包括： S436，对所述S3所得的反射光谱进行归一化处理； S437，将所述S435所得的反射光谱与所述S436中归一化处理后的反射光谱进行互相关运算； S438，确定相关系数最大的光程差，得到所述样本光谱对应的间隙值。

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