SKC索密思株式会社徐章源获国家专利权
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龙图腾网获悉SKC索密思株式会社申请的专利抛光垫及半导体器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115958524B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211200798.5，技术领域涉及：B24B37/22；该发明授权抛光垫及半导体器件的制造方法是由徐章源;郑恩先;尹晟勋;尹钟旭设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光垫及半导体器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种抛光垫及半导体器件的制造方法。所述抛光垫，通过在厚度方向上细分的结构设计，能够提供符合针对各种抛光对象的各种抛光目的的物性，并且在使用后的废弃方面，不同于现有的抛光垫，在至少一部分结构应用可再生材料或可回收材料，从而能够确保环保。具体而言，所述抛光垫，包括抛光层；所述抛光层包括：抛光可变层，具备抛光面，以及抛光不变层，设置在所述抛光可变层的所述抛光面的相反面侧；所述抛光不变层包括含有第一氨基甲酸乙酯基预聚物的第一组合物的固化物，所述第一氨基甲酸乙酯基预聚物可以为第一醇成分和第一异氰酸酯成分的反应产物，所述第一醇成分包含羟基值为200mgKOHg至900mgKOHg的第一多元醇。
本发明授权抛光垫及半导体器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫，其中， 包括抛光层； 所述抛光层包括： 抛光可变层，具备抛光面，以及 抛光不变层，设置在所述抛光可变层的所述抛光面的相反面侧； 所述抛光不变层包括含有第一氨基甲酸乙酯基预聚物的第一组合物的固化物， 所述抛光可变层包括含有第二氨基甲酸乙酯基预聚物的第二组合物的固化物， 所述第一氨基甲酸乙酯基预聚物为第一醇成分和第一异氰酸酯成分的反应产物，所述第一醇成分包含羟基值为200mgKOHg至900mgKOHg的第一多元醇， 所述第二氨基甲酸乙酯基预聚物为第二醇成分和第二异氰酸酯成分的反应产物，所述第二醇成分包含羟基值为50mgKOHg以上且小于200mgKOHg的第二多元醇， 所述第一组合物中的异氰酸酯基含量高于所述第二组合物中的异氰酸酯基含量。
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