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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学;上海易推动力科技有限公司申请的专利一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763201B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211165744.X，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源是由宁中喜;王璐;朱悉铭;韩傲;赵东兴设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源在说明书摘要公布了：一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源，属于等离子体放电领域，本发明为解决现有辉光放电设备无法实现光学监测的问题。它包括：触持极、石英玻璃和电子引出极的前端旋切有运输等离子体的孔；阴极侧壁面的上端开有“C”形缝隙，触持极侧壁面的上端开有第一“L”形缝隙，电子引出极侧壁面的上端开有第二“L”形缝隙；工质气体通过进气管进入阴极包围的腔室中；阴极通过外接的接线柱施加负电位，触持极通过外接的接线柱施加正高压电位，工质气体在真空环境下被击穿产生等离子体；光学监测器通过“C”形缝隙、第一“L”形缝隙、第二“L”形缝隙和石英玻璃对产生的等离子体进行监测。本发明用于辉光放电等离子体源。

本发明授权一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源在权利要求书中公布了：1.一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源，其特征在于，它包括进气管1、阴极5、触持极7、石英玻璃8和电子引出极9； 阴极5、触持极7、石英玻璃8和电子引出极9均为筒形结构，且阴极5、触持极7、石英玻璃8和电子引出极9为同心结构，阴极5、触持极7和电子引出极9之间通过陶瓷螺栓3固接； 阴极5的后壁面设有开孔，开孔处通过进气法兰2与进气管1连接，阴极5的前端与触持极7的后端密封连接，触持极7的前端通过石英玻璃8与电子引出极9密封连接； 触持极7、石英玻璃8和电子引出极9的前端旋切有运输等离子体的孔； 所述阴极5侧壁面的上端开有“C”形缝隙11，触持极7侧壁面的上端开有第一“L”形缝隙12，电子引出极9侧壁面的上端开有第二“L”形缝隙13； 所述“C”形缝隙11的下断面、第一“L”形缝隙12的下断面和第二“L”形缝隙13的下断面处于同一截面上； 工质气体通过进气管1进入阴极5包围的腔室中； 阴极5通过外接的接线柱施加负电位，触持极7通过外接的接线柱施加正高压电位，工质气体在真空环境下被击穿产生等离子体； 光学监测器通过“C”形缝隙11、第一“L”形缝隙12、第二“L”形缝隙13和石英玻璃8对产生的等离子体进行监测。

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