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精工爱普生株式会社山田耕平获国家专利权

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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利激光干涉仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115727934B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211048206.2,技术领域涉及:G01H9/00;该发明授权激光干涉仪是由山田耕平设计研发完成,并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

激光干涉仪在说明书摘要公布了:提供一种激光干涉仪,能抑制返回光针对激光光源的入射,能抑制根据受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度的下降。激光干涉计具备:激光光源;准直部,生成准直光;光调制器,将准直光调制为频率不同的参照光;以及受光元件,接受物体光和参照光,输出受光信号,将准直光的光轴设为第一光轴,当生成返回光时,将返回光的光轴设为第二光轴,将生成准直光的位置设为基准位置,当将基准位置中的第一光轴与第二光轴的偏离宽度设为Δy,将准直部的有效直径设为κ,将准直光的光径设为R,将基准位置与光调制器的距离设为L,将准直光的波长设为λ时,满足下述式A

本发明授权激光干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种激光干涉仪,其特征在于,具备: 激光光源,射出激光; 准直部,将所述激光平行化,生成准直光; 光调制器,将所述准直光调制为频率不同的参照光;以及 受光元件,接受所述准直光由测定对象物反射而生成的物体光以及所述参照光,输出受光信号, 将所述准直光的光轴设为第一光轴, 当生成所述参照光或所述物体光去往所述激光光源的返回光时,将所述返回光的光轴设为第二光轴, 将在所述准直部中生成所述准直光的位置设为基准位置, 当将所述基准位置中的所述第一光轴与所述第二光轴的偏离宽度设为Δy, 将所述准直部的有效直径设为κ, 将所述准直部中的所述准直光的光径设为R, 将所述基准位置与所述光调制器的距离设为L, 将所述准直光的波长设为λ时, 所述第一光轴与所述第二光轴以满足下述式A的方式偏离

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人精工爱普生株式会社,其通讯地址为:日本东京;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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