东北大学秦皇岛分校陈茂庆获国家专利权
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龙图腾网获悉东北大学秦皇岛分校申请的专利一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115704700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110899933.9，技术领域涉及：G01D5/353；该发明授权一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法是由陈茂庆;贺同月;赵勇设计研发完成，并于2021-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法在说明书摘要公布了：本发明属于光纤器件制作技术领域，公开了一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里‑铂罗干涉仪Fabry‑PerotInterferometer,FPI制作方法。采用单模光纤拉锥、放电熔接及飞秒激光刻写反射面方法制作微型探针式FPI。微型探针的尺寸可以通过调节熔接机的放电强度、放电时间、放电次数，两侧电极的移动时间、移动距离得以控制。微型探针中嵌入的反射面的形状可以通过调节飞秒激光的频率、波长、功率以及刻写路径得以控制。该方法可得到结构紧凑、可批量生产、性能稳定的微型探针式法布里‑铂罗干涉仪，在基于法布里‑铂罗的干涉式光纤传感器的生产及应用过程中起着至关重要的作用。此外，微型探针式FPI可以用于高温、折射率、湿度等参数探测。
本发明授权一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法在权利要求书中公布了：1.一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里-珀罗干涉仪制作方法，其特征在于，包括如下步骤： 1在单模光纤的轴向中心处放电拉锥，移动熔接机的一侧夹具使锥腰中心偏离放电中心，再次放电拉锥，并熔断，得到直径较大的单侧锥形光纤和直径较小的单侧锥形光纤； 2将直径较小的锥形光纤替换为端面切割平整的单模光纤，调整直径较大的锥形光纤和替换后的单模光纤的位置，放电熔接，随着放电次数的增加，锥形光纤的锥腰逐渐变小直至断开，在单模光纤的端面出现同时具备小直径、短长度的微探针； 3带有微型探针的单模光纤被放置在飞秒激光的三维移动平台上，设置飞秒激光的功率、频率、波长和光斑移动路径，构成法布里-珀罗干涉仪的反射面被刻写在超短微型探针中，得到目标参数的超短微型探针式光纤法布里-珀罗干涉仪。
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