长鑫存储技术有限公司侯力华获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利机台预防保养检测方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115619380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211339700.4，技术领域涉及：G06Q10/20；该发明授权机台预防保养检测方法、装置、设备及介质是由侯力华;徐新虎设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台预防保养检测方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种机台预防保养检测方法、装置、设备及介质，涉及半导体技术领域。该方法具体包括：获取机台运行数据，根据机台运行数据确定机台当前已重置，获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。通过本公开实施例提供的方案，可以准确的判断出机台在执行重置操作之后，是否执行了PM操作，以提高产品的合格率。
本发明授权机台预防保养检测方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种机台预防保养检测方法，其特征在于，包括： 获取机台运行数据； 根据所述机台运行数据确定机台当前已重置； 获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息； 根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养，包括：确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执行所述当前机台预防保养； 若判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养，则触发第一锁定信号以锁定所述机台。
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