福建华佳彩有限公司吴晟远获国家专利权
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龙图腾网获悉福建华佳彩有限公司申请的专利一种点源坩埚取放装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115522168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211331752.7,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种点源坩埚取放装置是由吴晟远;张麒麟;林泽;郑国清设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种点源坩埚取放装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种点源坩埚取放装置,该取放装置与蒸发源装置上的壳体连接,取放装置包括有顶盖,顶盖的底部连接有内导向管,内导线管的长度延伸到蒸发源装置的内挡板处,使侧部上加热丝与坩埚本体被内导向管隔绝开,顶盖开设有使坩埚本体进出腔室的取放孔,内导向管的轴线与取放孔的轴线相重合。将本装置套在壳体上,使侧部上加热丝被内导向管隔绝,可解决现有点源坩埚在添加更换材料或常规保养时,由于人员操作导致的碰撞而损坏侧部上加热丝、加热丝固定环等问题,避免非必要的宕机及非必要成本预算。同时也提高作业效率,避免因长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差而影响器件效果,既降低了生产时间、材料成本,又改善了产品效果。
本发明授权一种点源坩埚取放装置在权利要求书中公布了:1.一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述取放装置300与蒸发源装置上的壳体200连接,所述取放装置300包括有顶盖306,所述顶盖306的底部连接有用于分隔侧部上加热丝与坩埚本体的内导向管303,所述内导向管303的长度延伸到蒸发源装置的内挡板202处,使蒸发源装置侧部上加热丝与坩埚本体被内导向管303隔绝开,所述顶盖306开设有使坩埚本体进出腔室的取放孔307,所述内导向管303的轴线与取放孔307的轴线相重合; 所述顶盖306的底部设置有外导向管305,所述外导向管305的内径与壳体200外径相匹配,且所述外导向管305的轴线与内导向管303的轴线重合,所述外导向管305的长度大于内导向管303的长度; 所述顶盖306顶部设置有抓取环302。
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