株式会社爱发科铃木大地获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社爱发科申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115440564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210587398.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由铃木大地;森川泰宏;土居谦太;中村敏幸设计研发完成，并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够控制谐振点的位置且能够使谐振点靠近线圈天线的输出端的等离子体处理装置。具备：ICP天线21，具备输入端21I和输出端21O；串联电路，通过将附加电感器24与可变电容器25串联连接而成；以及控制装置33，对可变电容器25的电容进行变更，输入端21I经由天线用匹配器22与天线用电源23连接，输出端21O与附加电感器24连接，附加电感器24经由可变电容器25与接地端连接。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，具备： 线圈天线，其具备输入端和输出端； 电容耦合天线，该电容耦合天线与所述线圈天线连接； 串联电路，其通过将附加电感器与可变电容器串联连接而成；以及 控制部，其对所述可变电容器的电容进行变更， 所述输入端经由匹配电路与高频电源连接， 所述输出端与所述附加电感器连接， 所述附加电感器经由所述可变电容器与接地端连接， 所述控制部设定的所述可变电容器的电容的范围包含第1特定电容和第2特定电容， 所述第1特定电容是在所述范围中谐振点最靠近所述线圈天线与所述电容耦合天线的连接点时的所述可变电容器的电容， 在所述线圈天线开始生成所述等离子体之后，所述控制部使用所述输入端中的峰峰值和所述输出端中的峰峰值来特定用于使所述谐振点从所述输出端向所述输入端移动的所述可变电容器的电容， 所述第2特定电容是所述输入端中的峰峰值与所述输出端中的峰峰值处于相等的状态时的电容。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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