极光先进雷射株式会社宫本浩孝获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利激光装置、脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115427892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080099484.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权激光装置、脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法是由宫本浩孝设计研发完成，并于2020-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光装置、脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本公开的一个观点的激光装置具有输出脉冲激光的激光振荡器、以及被配置于脉冲激光的光路上的第1光学脉冲展宽器、第2光学脉冲展宽器和第3光学脉冲展宽器。在设第1光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L1、设第2光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L2、设第3光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L3、设n为2以上的整数的情况下，L2为L1的2以上的整数倍，L3满足n‑0.75×L1≤L3≤n‑0.25×L1。
本发明授权激光装置、脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体曝光装置用的激光装置，其包含： 激光振荡器，其输出脉冲激光； 第1光学脉冲展宽器，其被配置于所述脉冲激光的光路上； 第2光学脉冲展宽器，其被配置于所述脉冲激光的光路上；以及 第3光学脉冲展宽器，其被配置于所述脉冲激光的光路上， 在设所述第1光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L1、设所述第2光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L2、设所述第3光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L3、设n为2以上的整数的情况下， L2为L1的2以上的整数倍， L3满足n-0.75×L1≤L3≤n-0.25×L1， 所述激光振荡器是包含窄带化模块的准分子激光装置，该窄带化模块包含棱镜和光栅， 所述激光装置还具有被配置于所述脉冲激光的光路上的第4光学脉冲展宽器， 在设所述第4光学脉冲展宽器的延迟光路的光路长度为L4、设m为2以上的整数的情况下，L4满足m-0.25×L1≤L4≤m+0.25×L1，其中，m=n。
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