西湖大学仇旻获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖大学申请的专利一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115308825B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110494878.5，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用是由仇旻;石理平;耿娇;许犁野;方啸国设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种周期性氧化条纹结构的制造方法，包括：在一表面加工条纹结构；利用飞秒激光照射所述表面，在飞秒激光作用下和条纹结构的诱导下，所述表面对应区域形成周期性分布的氧化物条纹；所述条纹结构的方向与入射的飞秒激光的偏振方向一致。本发明也同时公开了一种上述方法的应用。本发明中通过一个简单的“人工种子”的诱导便可得到极高准直度的氧化条纹结构。不需要任何额外的加工工艺。直接，简单，明了，可控。同时，其产生氧化条纹光栅结构所需的能量密度低于长脉冲和连续激光，远远低于表面的烧蚀阈值，可以避免烧蚀产生，因此，可实现微纳范围内大面积的亚波长微纳条纹结构的精密加工。
本发明授权一种周期性氧化条纹结构的制造方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种周期性氧化条纹结构的制造方法，其特征在于，包括：在一表面加工条纹结构；利用飞秒激光照射所述表面，在飞秒激光作用下和条纹结构的诱导下，所述表面对应区域形成周期性分布的氧化物条纹；所述条纹结构的方向与入射的飞秒激光的偏振方向一致；所述表面为一薄膜表面，所述薄膜为硅薄膜，厚度为200~400nm； 所述条纹结构为200~500nm宽，3~10nm深的凹槽结构； 所述飞秒激光的能量密度为0.023~0.05Jcm2； 采用的飞秒激光的能量分布是高斯光斑，聚焦后的功率密度低于薄膜的烧蚀阈值，飞秒激光中心波长为1030纳米，脉冲宽度为130fs，焦点处的光斑直径为120微米； 周期性分布的氧化物条纹的周期为950纳米。
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