厦门乾照光电股份有限公司段方方获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门乾照光电股份有限公司申请的专利一种LED芯片及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114843381B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210492281.1,技术领域涉及:H10H20/816;该发明授权一种LED芯片及其制作方法是由段方方;刘英策;邬新根;崔恒平;蔡海防设计研发完成,并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED芯片及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种LED芯片及其制作方法,本申请提供的LED芯片的制作方法,一方面,通过光刻、刻蚀的方式将阻挡层进行图形化处理,实现一道光刻工艺同时形成电流阻挡层和N区掩膜;另一方面,通过干法刻蚀同时刻蚀P区掩膜、N区掩膜和切割道图形,实现一道刻蚀中形成N型区台面和切割道,简化流程,提升产量,且刻蚀面皆为倾斜面有利于在PV工序中沉积绝缘保护层,在不额外增加光刻的基础上,将外延结构的倾斜面和切割道裸露出来,最后在PV工序中被绝缘保护层保护起来,从而提升LED芯片的发光亮度和可靠性。
本发明授权一种LED芯片及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种LED芯片的制作方法,其特征在于,包括: 步骤S1、提供一衬底; 步骤S2、在所述衬底上层叠外延结构,所述外延结构沿背离所述衬底的方向依次包括层叠的N型半导体层、有源区和P型半导体层; 步骤S3、在所述外延结构上沉积整层阻挡层; 步骤S4、通过光刻、刻蚀的方式将所述阻挡层进行图形化处理,形成电流阻挡层和N区掩膜;所述电流阻挡层包括第一开孔,且所述第一开孔露出所述P型半导体层; 步骤S5、通过掩膜光刻的方式形成P区掩膜,所述P区掩膜覆盖所述电流阻挡层、部分所述N区掩膜和部分所述P型半导体层,并在所述P型半导体层的上表面边沿定义出切割道图形,所述P区掩膜与所述N区掩膜相叠的部分为交叠区; 步骤S6、同时刻蚀所述P区掩膜、所述N区掩膜和所述切割道图形,形成N型区台面和切割道,且刻蚀面皆为倾斜面; 所述步骤S6具体包括以下工序: 通过干法刻蚀,沿裸露的所述N区掩膜刻蚀,露出部分所述N型半导体层,形成所述N型区台面;同时沿所述切割道图形刻蚀,露出衬底,形成所述切割道,所述切割道环绕所述外延结构;同时沿所述P区掩膜刻蚀掉部分所述P区掩膜; 通过湿法刻蚀,侧向腐蚀掉所述交叠区的N区掩膜; 通过去胶液去掉残余的P区掩膜; 步骤S7、在所述P型半导体层上表面和所述电流阻挡层表面沉积透明导电层,所述透明导电层包括第二开孔,且所述第二开孔露出所述第一开孔和部分所述电流阻挡层,所述第一开孔和所述第二开孔形成P型电极台阶; 步骤S8、在所述N型区台面沉积N型电极;在所述P型电极台阶沉积P型电极,所述P型电极连接所述P型半导体层、所述电流阻挡层和所述透明导电层; 步骤S9、沉积整面绝缘保护层,并通过光刻、刻蚀露出所述N型电极和所述P型电极,所述绝缘保护层覆盖所述透明导电层、所述外延结构的裸露面和所述切割道。
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