可隆工业株式会社石想勋获国家专利权
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龙图腾网获悉可隆工业株式会社申请的专利光敏树脂层和使用其的干膜光致抗蚀剂、光敏元件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114830033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080086338.7,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权光敏树脂层和使用其的干膜光致抗蚀剂、光敏元件是由石想勋设计研发完成,并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光敏树脂层和使用其的干膜光致抗蚀剂、光敏元件在说明书摘要公布了:本公开涉及一种光敏树脂层以及使用该光敏树脂层的干膜光致抗蚀剂和光敏元件,所述光敏树脂层包含:包含三官能或更高官能的多官能甲基丙烯酸酯化合物的可光聚合的化合物;和可碱性显影的粘合剂树脂,并且具有‑0.015以上且‑0.011以下的芳环分数值。
本发明授权光敏树脂层和使用其的干膜光致抗蚀剂、光敏元件在权利要求书中公布了:1.一种光敏树脂层,包含:包含三官能或更高官能的多官能甲基丙烯酸酯化合物的可光聚合的化合物;和可碱性显影的粘合剂树脂; 其中,所述可光聚合的化合物还包含单官能甲基丙烯酸酯化合物, 其中,所述单官能甲基丙烯酸酯化合物包括下面化学式1的化合物, 其中,所述三官能或更高官能的多官能甲基丙烯酸酯化合物包括下面化学式2的化合物,并且 其中,由下面等式1计算的芳环分数值为-0.015以上且-0.011以下: [等式1] 在等式1中, Pcn是各个甲基丙烯酸酯化合物的芳环数, Ocn是各个甲基丙烯酸酯化合物中的O原子和S原子的数目, Wrn是各个甲基丙烯酸酯化合物相对于甲基丙烯酸酯化合物的总重量的重量百分比,并且 Mwn是各个甲基丙烯酸酯化合物的重均分子量, [化学式1] 在化学式1中, R1是氢或具有1至10个碳原子的烷基, R2是具有1至10个碳原子的亚烷基, R3是具有1至10个碳原子的烷基, n1是1至20的整数, [化学式2] 在化学式2中, R4是氢或具有1至10个碳原子的烷基, R5是具有1至10个碳原子的亚烷基, R6是包含具有1至20个碳原子的中心基团的p价官能团, n2是1至20的整数,并且 p是取代R6的官能团数,并且是3至10的整数。
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