英菲尼特斯马有限公司安德鲁·汉弗里斯获国家专利权
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龙图腾网获悉英菲尼特斯马有限公司申请的专利使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114787636B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080074923.5，技术领域涉及：G01Q10/04；该发明授权使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统是由安德鲁·汉弗里斯设计研发完成，并于2020-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统在说明书摘要公布了：一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，该扫描探针显微镜包括具有从基部支持物2延伸到自由端的悬臂的探针、由悬臂的自由端承载的探针尖端以及转向镜13；所述方法包括：跨表面横向扫描探针，使得探针进行跨表面的扫描运动；经转向镜将检测光束转向到探针上，检测光束以返回光束的形式从探针反射；移动转向镜，使检测光束进行与扫描运动同步的跟踪运动，并且通过转向镜保持检测光束转向到探针上；使用返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示表面上相应点的测量高度；通过将转向镜位置的目标值与转向镜位置的实际位置进行比较来获得表面上每个点的相关高度误差测量值，每个高度误差测量值表示测量高度的相应误差；以及，使用高度误差测量值校正图像测量值，以生成校正图像测量值。
本发明授权使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统在权利要求书中公布了：1.一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，所述扫描探针显微镜包括具有从基部延伸到自由端的悬臂的探针、由所述悬臂的所述自由端承载的探针尖端以及转向镜；所述方法包括： 跨表面横向扫描所述探针，使得所述探针进行跨所述表面的扫描运动； 经所述转向镜将检测光束转向到所述探针上，所述检测光束以返回光束的形式从所述探针反射； 移动所述转向镜，使得所述检测光束进行与所述扫描运动同步的跟踪运动，并且通过所述转向镜保持所述检测光束转向到所述探针上； 使用所述返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示所述表面上相应点的测量高度； 获得所述表面上每个点的相关高度误差测量值，每个高度误差测量值表示测量高度的相应误差；以及 使用所述高度误差测量值校正所述图像测量值，以生成校正图像测量值； 其中，所述图像测量值和相关的误差测量值是同时获得的。
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