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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利粒子束系统，操作粒子束系统的方法及计算机程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114762075B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080082331.8，技术领域涉及：H01J37/04；该发明授权粒子束系统，操作粒子束系统的方法及计算机程序产品是由S.舒伯特;D.舒马赫;E.埃塞尔斯;I.穆勒;A.托马;J.雅各比;W.波辛格;D.蔡德勒设计研发完成，并于2020-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本粒子束系统，操作粒子束系统的方法及计算机程序产品在说明书摘要公布了：本发明关于粒子束系统，特别是多束粒子显微镜，其包含多束偏转装置且包含束终止器，且本发明关于用以操作粒子束系统的相关方法及相关的计算机程序产品。在此情况下，多束偏转装置配置在粒子束系统的多束产生器下游和束开关上游的粒子光学束路径中。多束偏转装置用于多个带电的个别粒子束的集体遮蔽。这些撞击在束终止器上，该束终止器配置在粒子光学束路径中、与粒子束直径减小或为最小值的位置齐平。举例来说，这些位置为个别粒子束的交叉平面或中间像平面。

本发明授权粒子束系统，操作粒子束系统的方法及计算机程序产品在权利要求书中公布了：1.一种粒子束系统，包含以下： 至少一个粒子源，其构造成产生带电粒子束； 第一粒子光学单元，其具有第一粒子光学束路径，该第一粒子光学单元构造成产生多个个别粒子束，并将这些个别粒子束成像在物平面上；以及 第二粒子光学单元，其构造成成像多个第二个别粒子束，该多个第二个别粒子束从该物平面中的入射点发出到检测器单元上； 其中该粒子束系统更包含以下： 多束产生器，其构造成从该带电粒子束中产生多个带电的第一个别粒子束； 物镜，该个别粒子束穿过该物镜，且该物镜构造成将该第一个别粒子束引导在该物平面处，使得该第一个别粒子束在多个入射点处撞击在该物平面上； 束开关，其配置在该多束产生器和该物镜之间的第一粒子光学束路径中，并配置在该物镜和该检测器单元之间的第二粒子光学束路径中，该第一粒子光学束路径和该第二粒子光学束路径在该束开关内分支； 束终止器；以及 具有控制器的多束偏转装置， 其中该多束偏转装置配置在该多束产生器下游和该束开关上游的该第一粒子光学束路径中， 其中该控制器构造成借助于该多束偏转装置暂时地共同偏转该第一个别粒子束，使得该第一个别粒子束入射在该束终止器上，因而不是入射在该物平面上，以及 其中该束终止器配置在该第一粒子光学束路径中、与粒子束直径减小或为最小值的位置齐平， 其中该束终止器包含杯状物， 其中该杯状物沿其纵轴具有通道开口，且其中在该通道开口的周围配置具有环形横截面的沟槽以用于束捕获；以及 其中该杯状物配置使得该粒子束系统的光轴延伸穿过该杯状物的该通道开口，沿着该杯状物的该纵轴， 其中该环形沟槽的束进入开口在内环上具有锐利边缘；以及 其中设置了相对于该杯状物的纵轴倾斜并远离该纵轴的表面，该表面从该锐利边缘延伸到该沟槽中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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