合肥芯碁微电子装备股份有限公司金伟龙获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利吸盘的制作方法和光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114647157B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210317501.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权吸盘的制作方法和光刻设备是由金伟龙设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸盘的制作方法和光刻设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种吸盘的制作方法和光刻设备，包括：提供具有可塑性的板体；挤压所述板体，使所述板体构造出沿第一方向贯通所述板体的多个吸附腔，多个所述吸附腔沿第二方向间隔排列，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述板体的厚度方向；在所述板体的厚度方向的一侧面构造出多个吸附孔，每个所述吸附腔与至少一个所述吸附孔连通，在所述板体的厚度方向的另一侧面构造出与多个所述吸附腔连通的吸附槽。根据本发明实施例的吸盘的制作方法具有加工便捷、成本低和强度高等优点。
本发明授权吸盘的制作方法和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种吸盘的制作方法，其特征在于，包括： 提供具有可塑性的板体，其中，所述板体为热塑性塑料，或所述板体为流动性好的热固性塑料或者增强塑料； 加热所述板体，推动所述板体挤压模具，使所述板体的轮廓变为所需要的轮廓，对所述板体进行冷却以固定所述板体的形状，使所述板体构造出沿第一方向贯通所述板体的多个吸附腔，多个所述吸附腔沿第二方向间隔排列，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述板体的厚度方向； 在所述板体的厚度方向的一侧面加工出多个吸附孔，每个所述吸附腔与至少一个所述吸附孔连通，在所述板体的厚度方向的另一侧面构造出与多个所述吸附腔连通的吸附槽； 对所述板体的厚度两侧面进行热处理，将所述板体的厚度两侧面矫正为平面。
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