买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉信利(惠州)智能显示有限公司申请的专利一种剥离光阻的装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114063398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111363522.4，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种剥离光阻的装置及其控制方法是由张桂林;张依腾;何海山;李伟界设计研发完成，并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种剥离光阻的装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种剥离光阻的装置，包括有效成分添加装置、补给监控装置、若干个剥离槽和若干个存储槽，若干个剥离槽分别连通有存储槽，若干个存储槽之间互相连接；存储槽至少包括第一存储槽和第N存储槽，第一存储槽上设置有出液管，第N剥离槽上设置有进液管；有效成分添加装置和第一存储槽通过管道连接，管道上设置有开关阀；补给监控装置分别和第一存储槽、有效成分添加装置连接，补给监控装置与有效成分添加装置通信连接；补给监控装置通过进液管对第N存储槽添加剥离液新液，补给监控装置通过出液管排放第一存储槽中的剥离液废液，补给监控装置控制若干个存储槽之间的连通状态。本发明还涉及一种控制上述剥离光阻的装置的方法。

本发明授权一种剥离光阻的装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种剥离光阻的装置的控制方法，其特征在于， 所述装置包括有效成分添加装置、补给监控装置、若干个剥离槽和若干个存储槽，所述剥离槽和所述存储槽的数量相同，若干个所述剥离槽分别连通有所述存储槽，若干个所述存储槽之间互相连接； 所述存储槽至少包括第一存储槽和第N存储槽，N为不小于2的正整数，所述第一存储槽上设置有出液管，所述第N存储槽上设置有进液管； 所述有效成分添加装置和所述第一存储槽通过管道连接，所述管道上设置有开关阀； 所述补给监控装置分别和所述第一存储槽、所述有效成分添加装置连接，所述补给监控装置与所述有效成分添加装置通信连接； 所述补给监控装置通过所述进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液，所述补给监控装置通过所述出液管排放所述第一存储槽中的剥离液废液，所述补给监控装置控制若干个所述存储槽之间的连通状态； 所述控制方法包括如下步骤： 步骤S1，所述补给监控装置监测所述第一存储槽中的剥离液的状态参数，包括水浓度、光阻浓度； 步骤S2，当所述第一存储槽中的剥离液的水浓度低于预设值时，所述补给监控装置发送相应信号给所述有效成分添加装置，所述有效成分添加装置接受信号后执行以下动作：1.打开所述开关阀并开始向所述第一存储槽添加去离子水；2.达到设定的补水时间后关闭所述开关阀，停止补水； 步骤S3，重复步骤S1-S2直至所述第一存储槽中的剥离液的水浓度不小于预设值； 步骤S4，当所述第一存储槽中的剥离液的光阻浓度达设定的上限值，将所述补给监控装置调整为监测所述第一存储槽中的剥离液的光阻浓度； 步骤S5，当所述补给监控装置监测到所述第一存储槽中的剥离液的光阻浓度高于设定的上限值时，所述补给监控装置会同时执行以下动作：1.控制若干个所述存储槽之间连通；2.通过所述进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液；3.通过所述出液管排放所述第一存储槽中的剥离液废液； 步骤S6，所述补给监控装置监测到所述第一存储槽中的剥离液的光阻浓度降低直至不大于设定的下限值时，所述补给监控装置会同时执行以下动作：1.控制若干所述存储槽之间断开连通；2.停止通过所述进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液；3.停止通过所述出液管排放所述第一存储槽中的剥离液废液。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人信利(惠州)智能显示有限公司，其通讯地址为：516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。