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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于跟踪具有可配置焦点偏移的样本表面的自动聚焦系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113692546B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080026630.X，技术领域涉及：G02B21/24；该发明授权用于跟踪具有可配置焦点偏移的样本表面的自动聚焦系统是由刘秀梅;曹凯;R·威灵福德;M·朱斯蒂;B·布吕吉耶设计研发完成，并于2020-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于跟踪具有可配置焦点偏移的样本表面的自动聚焦系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种自动聚焦系统。所述系统包含照明源。所述系统包含孔径。所述系统包含投影掩模。所述系统包含检测器组合件。所述系统包含中继系统，所述中继系统经配置以将透射穿过所述投影掩模的照明光学地耦合到成像系统。所述中继系统还经配置以将一或多个图案从所述投影掩模投射到样本上且将所述投影掩模的图像从所述样本传输到所述检测器组合件。所述系统包含控制器，所述控制器包含经配置以执行一组程序指令的一或多个处理器。所述程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：从所述检测器组合件接收所述投影掩模的一或多个图像且确定所述投影掩模的所述一或多个图像的质量。

本发明授权用于跟踪具有可配置焦点偏移的样本表面的自动聚焦系统在权利要求书中公布了：1.一种自动聚焦系统，其包括： 投影掩模图像质量PMIQ自动聚焦系统，其包括： 发射光的照明源； 光学元件，其包括第一透镜及第二透镜，其中从所述照明源发射的所述光首先穿过所述第一透镜； 第一孔径，其中穿过所述第一透镜的所述光依序地穿过所述第一孔径和所述第二透镜； 第一投影掩模，其接收穿过所述第二透镜的所述光；及 第一PMIQ检测器组合件及第二PMIQ检测器组合件； 归一化s曲线NSC自动聚焦系统，其包括： 照明源； 第二孔径； 第二投影掩模；及 第一NSC检测器组合件及第二NSC检测器组合件； 中继系统， 其中所述中继系统经配置以将一或多个图案从所述第一投影掩模投射到安置在成像系统的载物台组合件上的样本上，其中所述第一投影掩模的图像接着从所述样本分别被传输到所述成像系统的至少一或多个检测器及所述中继系统，且所述中继系统另将来自所述样本的所述第一投影掩模的所述图像传输到所述第一PMIQ检测器组合件及所述第二PMIQ检测器组合件， 其中所述中继系统经配置以将一或多个图案从所述第二投影掩模投射到安置在所述成像系统的所述载物台组合件上的所述样本上，其中所述第二投影掩模的图像接着从所述样本分别被传输到所述成像系统的所述至少一或多个检测器及所述中继系统，且所述中继系统另将来自所述样本的所述第二投影掩模的所述图像传输到所述第一NSC检测器组合件及所述第二NSC检测器组合件；及 控制器，其包含一或多个处理器，其中所述一或多个处理器经配置以执行存储在存储器中的一组程序指令，其中所述程序指令经配置以致使所述一或多个处理器： 从所述成像系统的所述一或多个检测器接收信号及或图像数据； 从所述第一PMIQ检测器组合件、所述第二PMIQ检测器组合件、所述第一NSC检测器组合件及所述第二NSC检测器组合件接收一或多个信号；及 基于来自所述第一PMIQ检测器组合件、所述第二PMIQ检测器组合件、所述第一NSC检测器组合件及所述第二NSC检测器组合件的所述一或多个信号执行双重控制回路以调整所述载物台组合件以维持所述成像系统的焦点。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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