埃地沃兹日本有限公司江野泽秀树获国家专利权
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龙图腾网获悉埃地沃兹日本有限公司申请的专利真空泵获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113454344B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080017949.6,技术领域涉及:F04D19/04;该发明授权真空泵是由江野泽秀树;野中学;前岛靖;高阿田勉设计研发完成,并于2020-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空泵在说明书摘要公布了:提供一种适于确保包含多个旋转叶片以及粒子输送部的旋转体整体的平衡并且防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的回流的真空泵。真空泵P1在从吸气口到排气口之间具备将气体分子进行排气的多个排气段PT、将粒子向气体分子的排气方向输送的粒子输送部PN,粒子输送部为,通过在构成最上段的排气段的多个旋转叶片7中将至少一部分的上游端的高度增高或降低而作为最上段的排气段整体成为上游端的高度不同的阶差结构,从而作为将粒子向气体分子的排气方向输送的机构而起作用,由多个旋转叶片以及粒子输送部、支承该多个旋转叶片的圆筒部6构成的旋转体R为,针对该旋转体整体,修正由于前述阶差结构而上游端的高度变得比其他的旋转叶片高的旋转叶片的存在而产生的不平衡。
本发明授权真空泵在权利要求书中公布了:1.一种真空泵, 在从吸气口到排气口之间具有将气体分子排气的多个排气段, 在前述多个排气段中,具备粒子输送部,所述粒子输送部为,在构成最上段的排气段的多个旋转叶片中将至少一部分的上游端的高度增高或降低从而作为前述最上段的排气段整体成为前述上游端的高度不同的阶差结构,由此将粒子向前述气体分子的排气方向输送, 其特征在于, 由前述多个旋转叶片以及前述粒子输送部、支承该多个旋转叶片的圆筒部构成且前述多个旋转叶片一体地形成于前述圆筒部的旋转体为,针对该旋转体整体,修正由于前述阶差结构导致的前述上游端的高度变得比其他的旋转叶片高的多个旋转叶片没有以前述旋转体的旋转轴作为点对称象轴而成为点对称而产生的不平衡。
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