东京毅力科创株式会社彼得·文特泽克获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利用于等离子体加工的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980052000.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体加工的方法和装置是由彼得·文特泽克;阿洛科·兰詹设计研发完成，并于2019-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体加工的方法和装置在说明书摘要公布了：在实施例中，一种等离子体加工系统包括真空室、被配置为对要加工的衬底进行固持的衬底固持器，其中，该衬底固持器设置在该真空室中。该系统进一步包括设置在该衬底固持器的外围区域上方的电子源，该电子源被配置为朝向该衬底固持器的外围区域生成电子束。
本发明授权用于等离子体加工的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体加工系统，包括： 真空室； 衬底固持器，该衬底固持器被配置为对要加工的衬底进行固持并且设置在该真空室中；以及 设置在该衬底固持器的外围区域上方的电子源，该电子源具有与衬底的最边缘区域垂直对准的环形的边缘电极，该电子源被配置为朝向该衬底固持器的外围区域生成电子束， 其中，该边缘电极耦合到直流供应节点，以及 其中，该边缘电极设置在保护电介质中，所述保护电介质的表面区域面对等离子体并覆盖该边缘电极的至少一部分。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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