成都骏创科技有限公司姬磊获国家专利权
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龙图腾网获悉成都骏创科技有限公司申请的专利一种蒸镀工艺中的静电消除装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223745215U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520295980.6,技术领域涉及:H10K71/16;该实用新型一种蒸镀工艺中的静电消除装置是由姬磊;奉洛阳;刘世刚设计研发完成,并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀工艺中的静电消除装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种蒸镀工艺中的静电消除装置,其应用在真空环境中,所述静电消除装置包括:电子发射组件,其用于发射电子束;加速电场,其用于对所述电子束进行加速,以对真空中残余气体粒子进行轰击从而产生正离子和负电荷,以及筛选磁场,其用于筛选中和环境中的正离子和负电荷,并与静电进行接触,以实现静电中和;其中,所述电子发射组件为碳纳米纤维发射器,所述碳纳米纤维发射器具有碳纳米涂层,以作为发射源使电子穿过电位屏障并发射电子,本实用新型采用碳纳米纤维发射器作为电子发射源,结合独特的碳纳米涂层设计,显著降低了电子穿过电位屏障的难度,提高了电子发射的稳定性和可靠性。
本实用新型一种蒸镀工艺中的静电消除装置在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀工艺中的静电消除装置,其应用在真空环境中,其特征在于,所述静电消除装置包括: 电子发射组件,其用于发射电子束; 加速电场,其用于对所述电子束进行加速,以对真空中残余气体粒子进行轰击从而产生正离子和负电荷,以及 筛选磁场,其用于筛选中和环境中的正离子和负电荷,并与静电进行接触,以实现静电中和; 其中,所述电子发射组件为碳纳米纤维发射器,所述碳纳米纤维发射器具有碳纳米涂层,以作为发射源使电子穿过电位屏障并发射电子。
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