陕西科技大学陈庆彩获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西科技大学申请的专利一种基于MEMS技术的微热板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223744925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520081436.1，技术领域涉及：H05B3/20；该实用新型一种基于MEMS技术的微热板是由陈庆彩;孙一凡;呼宇坤;黄华栋;程静雯;徐腾飞;刘欢设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS技术的微热板在说明书摘要公布了：本实用新型涉及MEMS技术领域，公开了一种基于MEMS技术的微热板，包括单晶硅衬底、二氧化硅绝缘层、加热电极、测试电极和安装插座，其中单晶硅衬底为整个微热板提供良好的支撑作用，单晶硅衬底上设置有二氧化硅绝缘层，不仅可以让器件内部电路的运行速度提升，还可以降低漏电，减少功耗；二氧化硅绝缘层上设置有加热电极和测试电极，实现了微热板的快速、均匀加热以及对温度和气体的实时监测，整体设计简化安装方式，提高测试效率；此外由单晶硅衬底、二氧化硅绝缘层、加热电极和测试电极组成的微热板插设在安装插座内部，使得微热板阵列可随时更换，降低了成本。
本实用新型一种基于MEMS技术的微热板在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS技术的微热板，其特征在于，包括单晶硅衬底1，所述单晶硅衬底1插设在安装插座7内部，所述单晶硅衬底1上设置有二氧化硅绝缘层2，所述二氧化硅绝缘层2上设置有加热电极4和测试电极6，所述加热电极4和测试电极6与电极引脚3连接。
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