河南东微电子装备有限公司王东旭获国家专利权
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龙图腾网获悉河南东微电子装备有限公司申请的专利一种便于高度调节的晶圆支撑PIN及升降托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743637U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422953872.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种便于高度调节的晶圆支撑PIN及升降托盘是由王东旭;赵泽良设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于高度调节的晶圆支撑PIN及升降托盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于高度调节的晶圆支撑PIN及升降托盘，涉及半导体制造技术领域，包括固定端和活动端，所述活动端下部插在所述固定端内，所述活动端下部与所述固定端通过螺纹连接，所述活动端上端设置为球型，所述活动端下部和所述固定端外表面上设置便于观察顶针整体高度的刻度线；所述固定端的长度大于加热装置的厚度；有益效果在于：本专利的晶圆支撑PIN及升降托盘设计在提高晶圆放置精度、增强加热均匀性、便于调节与操作以及适应性强等方面具有显著的有益效果，对于半导体制造技术的提升和工艺稳定性的保障具有重要意义。
本实用新型一种便于高度调节的晶圆支撑PIN及升降托盘在权利要求书中公布了：1.一种便于高度调节的晶圆支撑PIN，包括固定端1和活动端2，其特征在于：所述活动端2下部插在所述固定端1内，所述活动端2下部与所述固定端1通过螺纹连接，所述活动端2上端设置为球型，所述活动端2下部和所述固定端1外表面上设置便于观察顶针201整体高度的刻度线；所述固定端1的长度大于加热装置106的厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河南东微电子装备有限公司，其通讯地址为：450000 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(郑东)中州大道与三全路交叉口龙源嘉苑西苑G2号楼三层308号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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