友上智能科技(苏州)有限公司王致壬获国家专利权
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龙图腾网获悉友上智能科技(苏州)有限公司申请的专利智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223743634U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422552054.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪是由王致壬;钟秋振;左仁元设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪。其包括安装立柱、安装在所述安装立柱端部的夹紧气缸、受所述夹紧气缸驱动收缩且置于两端的夹紧板,在所述夹紧板的底部设置有外底部夹紧块;在所述夹紧板底部相邻的一侧设置有外侧边夹紧块,所述外底部夹紧块与所述外侧边夹紧块相互垂直设置,在所述夹紧板的底部还设置有内底部夹紧块,在所述夹紧板底部相邻的一侧设置有内侧边夹紧块。本实用新型的有益之处:本技术方案在夹爪上的两端设置加紧块,用来配合不同角度位置的片篮进行夹取,提高实用性,同时设置两组不同长度的加紧块,且错位设置,分别用来夹持不同直径的片篮,且两者互相影响。
本实用新型智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪在权利要求书中公布了:1.一种智能搬运机器人用于硅片不同尺寸篮共用夹爪,其包括安装立柱、安装在所述安装立柱端部的夹紧气缸、受所述夹紧气缸驱动收缩且置于两端的夹紧板,其特征在于:在所述夹紧板上设置有若干组安装孔,在所述夹紧板的底部设置有外底部夹紧块;在所述夹紧板底部相邻的一侧设置有外侧边夹紧块,所述外底部夹紧块与所述外侧边夹紧块相互垂直设置,在所述夹紧板的底部还设置有内底部夹紧块,在所述夹紧板底部相邻的一侧设置有内侧边夹紧块,所述内底部夹紧块、内侧边夹紧块均通过安装螺柱安装在所述夹紧板上,所述外底部夹紧块和所述内底部夹紧块处于同一夹紧板面,且外底部夹紧块和所述内底部夹紧块错位设置,所述外侧边夹紧块和所述内侧边夹紧块处于同一夹紧板面上,且所述外侧边夹紧块与所述内侧边夹紧块错位设置。
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