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龙图腾网获悉常州维普半导体设备有限公司申请的专利可互换晶圆吸盘安装装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743632U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520048243.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型可互换晶圆吸盘安装装置是由张端彬;刘军;刘岩设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本可互换晶圆吸盘安装装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可互换晶圆吸盘安装装置，用于安装在机台上，可互换晶圆吸盘安装装置包括：底座组件、至少两个自复位按压触点组件、晶圆吸盘和控制识别组件，所述底座组件上设有安装平台，所述底座组件可拆卸地安装在所述机台上；所述自复位按压触点组件活动安装在所述底座组件上，所述自复位按压触点组件包括按压端和一对电极触点，所述自复位按压触点组件适于在所述按压端被按压时导通或断开相对应的一对电极触点以产生相对应的触点状态信号；所述晶圆吸盘可拆卸地安装在所述底座组件的安装平台上。本实用新型能够方便快捷地实现晶圆吸盘的安装与拆卸，同时支持多种类型晶圆吸盘的互换，提升了机台的适应性与使用效率。

本实用新型可互换晶圆吸盘安装装置在权利要求书中公布了：1.一种可互换晶圆吸盘安装装置，用于安装在机台上，其特征在于，包括： 底座组件1，所述底座组件1上设有安装平台，所述底座组件1可拆卸地安装在所述机台上； 至少两个自复位按压触点组件2，所述自复位按压触点组件2活动安装在所述底座组件1上，所述自复位按压触点组件2包括按压端和一对电极触点，所述自复位按压触点组件2适于在所述按压端被按压时导通或断开相对应的一对电极触点，以产生触点状态信号； 晶圆吸盘3，所述晶圆吸盘3可拆卸地安装在所述底座组件1的安装平台上，所述晶圆吸盘3底部选择性地设置有避让槽，所述避让槽与所述自复位按压触点组件2位置对应，当所述避让槽未设置时，所述晶圆吸盘3的底面抵压所述自复位按压触点组件2的按压端； 控制识别组件，所述控制识别组件设置在所述机台内，所述控制识别组件设有多个输入端，所述输入端穿过所述底座组件1与所述自复位按压触点组件2的相对应的电极触点电连接，所述控制识别组件适于接收所述自复位按压触点组件2发出的触点状态信号，并根据所述触点状态信号识别所述晶圆吸盘3的类型。

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