北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423024054.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统。该晶圆吹扫装置包括：挡光板、多个保护气吹扫机构和多个气吹机构；多个保护气吹扫机构和多个气吹机构均以激光出口为几何中心排列设置。本实用新型提供的一种晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统，通过气吹机构向晶圆表面吹出加压气体，提高了晶圆的紧固性；通过保护气吹扫机构向晶圆表面吹出保护气，使保护气覆盖晶圆表面，降低加工区域的氧含量浓度；另外，以激光出口为几何中心的排列方式，保护气可以围绕光斑中心形成气帘，既能使保护气沿着晶圆表面向外吹扫，在晶圆表面形成微正压环境，又能阻挡大部分外界环境空气进入激光加工区域，保证氧含量达到加工工艺的要求。
本实用新型晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吹扫装置，其特征在于，包括： 挡光板1，具有激光出口； 多个保护气吹扫机构2，以所述激光出口为几何中心排列设置，用于向晶圆表面吹出保护气； 多个气吹机构3，以所述激光出口为几何中心排列设置，用于向晶圆表面吹出加压气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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