上海鲲游科技有限公司王龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海鲲游科技有限公司申请的专利一种晶圆吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422869193.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸盘是由王龙;周仁;颜廷壮设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆吸盘，包括基座，在基座的表面同心设置一凹陷部，晶圆设置于凹陷部与基座之间的表面轮廓上，在凹陷部与基座之间的表面轮廓上设置至少一个第一吸附部，在基座的凹陷部中设置至少一个第二吸附部；第一吸附部用于吸附晶圆的边缘部；第二吸附部用于提供一定的气体压强以防止所述晶圆形变；通过设置中空的凹陷部来使得晶圆的功能区处于悬空的状态，以防止晶圆在高速旋转过程中产生的吸附压痕，从而影响晶圆表面的光学性能；另一方面，通过控制中空的凹陷部的空气压强，来改善在高速旋转过程中晶圆上下表面的压强差，从而防止其结构形变，避免晶圆翘曲，对此，以改善不同位置的变形问题，防止翘曲的现象。
本实用新型一种晶圆吸盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸盘，其特征在于，包括基座，在所述基座的表面同心设置一凹陷部，晶圆设置于所述凹陷部与所述基座之间的表面轮廓上，在所述凹陷部与所述基座之间的表面轮廓上设置至少一个第一吸附部，在所述基座的所述凹陷部中设置至少一个第二吸附部；所述第一吸附部用于吸附所述晶圆的边缘部；所述第二吸附部用于提供一定的气体压强以防止所述晶圆形变。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海鲲游科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区临港新片区江山路2699号4号厂房西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励