苏州智程半导体科技股份有限公司郭鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆暂存装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743620U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520515554.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆暂存装置是由郭鑫;刘瑞;周训丙设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆暂存装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆暂存装置，包括：支撑结构，以及沿竖向间隔配置于支撑结构的多组定位装置；定位装置包括：对称配置于支撑结构两侧的两组调节机构，以及配置于调节机构外侧以承托晶圆的托持结构；托持结构被构造出供晶圆于水平面位移的调节区域，两组调节机构承托晶圆相对两侧的局部区域，以驱动晶圆于调节区域位移进行对中。本申请所揭示的晶圆暂存装置，实现了对多片晶圆执行对中，减少了工艺等待时间。
本实用新型一种晶圆暂存装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆暂存装置，其特征在于，包括： 支撑结构，以及沿竖向间隔配置于所述支撑结构的多组定位装置； 所述定位装置包括：对称配置于所述支撑结构两侧的两组调节机构，以及配置于所述调节机构外侧以承托晶圆的托持结构； 所述托持结构被构造出供晶圆于水平面位移的调节区域，两组所述调节机构承托晶圆相对两侧的局部区域，以驱动晶圆于所述调节区域位移进行对中。
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