芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司张邵杭获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利传片切换装置及刻蚀设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223743616U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520214033.X,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型传片切换装置及刻蚀设备是由张邵杭;屈文晶设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本传片切换装置及刻蚀设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种传片切换装置及刻蚀设备,其中传片切换装置包括:承载单元、识别单元以及高度调整单元;所述承载单元用于承载片盒;所述识别单元用于识别承载单元所要承载的片盒,并提取该片盒的类型信息;所述高度调整单元用于基于所述类型信息调整所述承载单元的高度。该传片切换装置,可适配不同类型的片盒的传片,提高整个传片系统的适用范围。
本实用新型传片切换装置及刻蚀设备在权利要求书中公布了:1.一种传片切换装置,其特征在于,包括:承载单元、识别单元以及高度调整单元; 所述承载单元用于承载片盒; 所述识别单元用于识别承载单元所要承载的片盒,并提取该片盒的类型信息; 所述高度调整单元用于基于所述类型信息调整所述承载单元的高度。
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