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北京特思迪半导体设备有限公司马千程获国家专利权

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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利晶圆承载盘升降搬运机构和输送装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223743613U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423240574.4,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型晶圆承载盘升降搬运机构和输送装置是由马千程;寇明虎设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆承载盘升降搬运机构和输送装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种晶圆承载盘升降搬运机构,涉及半导体加工设备技术领域,包括:取料臂,用于承接晶圆承载盘;水平调节结构,用于驱动取料臂在水平面内进行位置调整;连接座,设置于水平调节结构的上方,用于对水平调节结构起安装作用;升降结构,设置于连接座的上方,用于带动连接座进行升降调整;固定支架,设置于连接座的上方,用于对升降结构起安装作用;加固结构,包括至少一根加固杆,加固杆倾斜设置于固定支架与连接座之间,加固杆的两端设置有铰接构件,两个铰接构件中的一个设置为位置无法移动的固定构件,另一个设置为能够沿水平方向移动的移动构件。目的是分担升降结构的受力,提高对升降机构进行保护。

本实用新型晶圆承载盘升降搬运机构和输送装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆承载盘升降搬运机构,其特征在于,包括: 取料臂1,用于承接晶圆承载盘; 水平调节结构2,用于驱动所述取料臂1在水平面内进行位置调整; 连接座3,设置于所述水平调节结构2的上方,用于对所述水平调节结构2起安装作用; 升降结构4,设置于所述连接座3的上方,用于带动所述连接座3进行升降调整; 固定支架5,设置于所述连接座3的上方,用于对所述升降结构4起安装作用; 加固结构6,包括至少一根加固杆61,所述加固杆61倾斜设置于所述固定支架5与所述连接座3之间,所述加固杆61的两端设置有用于和所述固定支架5所述连接座3形成铰接的铰接构件,两个所述铰接构件中的一个设置为位置无法移动的固定构件62,另一个设置为能够沿水平方向移动的移动构件63。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司,其通讯地址为:101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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