苏州智程半导体科技股份有限公司赵天翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆刷片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743609U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520514893.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆刷片装置是由赵天翔;丁宏程;华斌设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆刷片装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆刷片装置，包括：底座，配置于底座的转轴机构，驱动转轴机构带动刷头转动的驱动机构，以及平衡机构；转轴机构包括：转动轴，转动轴沿轴向延伸出底座的一端配置刷头，以及套设于转动轴外侧并随刷头在垂直方向运动而发生伸缩的弹性单元；平衡机构包括：嵌套设置于弹性单元内部以限制弹性单元伸缩范围的垂直限位件，以及套设于转动轴外侧并靠近刷头的限位轴承组，限位轴承组周向抵持于底座以限制转动轴发生水平偏转。本申请所揭示的晶圆刷片装置，实现了抑制刷头在水平方向发生摆动、晃动以及在垂直方向发生跳动、振动等不稳定现象。
本实用新型一种晶圆刷片装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刷片装置，其特征在于，包括： 底座，配置于所述底座的转轴机构，驱动所述转轴机构带动刷头转动的驱动机构，以及平衡机构； 所述转轴机构包括：转动轴，所述转动轴沿轴向延伸出所述底座的一端配置所述刷头，以及套设于所述转动轴外侧并随所述刷头在垂直方向运动而发生伸缩的弹性单元； 所述平衡机构包括：嵌套设置于所述弹性单元内部以限制所述弹性单元伸缩范围的垂直限位件，以及套设于所述转动轴外侧并靠近所述刷头的限位轴承组，所述限位轴承组周向抵持于所述底座以限制所述转动轴发生水平偏转。
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