芯恩(青岛)集成电路有限公司喻兵获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种加热单元及刻蚀腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743603U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520043517.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种加热单元及刻蚀腔体是由喻兵设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热单元及刻蚀腔体在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种加热单元，该加热单元包括用于与刻蚀腔体的穹顶组成加热空间的罩壳，用于对穹顶进行加热的加热模组，用于对穹顶的表面温度进行实时监测，并生成温度数据的测温模组，用于接收温度数据并根据温度数据对加热模组的加热功率进行控制的控制单元。本实用新型的加热单元通过加热模组、测温模组和控制单元的配合，实现了对穹顶表面温度的均衡控制，有效提高了穹顶表面温度的均匀性，进而有效改善聚合物脱落影响晶圆的刻蚀加工的问题；本实用新型还提供了一种刻蚀腔体，所述刻蚀腔体包括了上述的加热单元，通过在所述刻蚀腔体上设置所述加热单元，有效改善聚合物脱落影响晶圆的刻蚀加工的问题，进而大幅提升了产品良率。
本实用新型一种加热单元及刻蚀腔体在权利要求书中公布了：1.一种加热单元，用于对刻蚀腔体的穹顶进行加热；其特征在于，包括： 罩壳，用于与所述刻蚀腔体的穹顶组成加热空间； 加热模组，设置在所述加热空间中，用于对所述穹顶进行加热； 测温模组，设置在所述加热空间中，用于对所述穹顶的表面温度进行实时监测，并生成对应的温度数据； 控制单元，分别与所述测温模组和所述加热模组电连接，用于接收所述温度数据，并根据所述温度数据对所述加热模组的加热功率进行控制。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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