盛合晶微半导体(江阴)有限公司谢韫泽获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种蓝膜剥离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520006352.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种蓝膜剥离装置是由谢韫泽;董攀林设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蓝膜剥离装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种蓝膜剥离装置，包括工作舱、舱门、开关按钮、储存室及储存室门，其中，舱门活动连接于工作舱的一面，工作舱中设有机械臂、环形压膜器及多个强磁定位柱，机械臂的顶端固定于工作舱的顶部，机械臂的底端与环形压膜器连接，工作舱的底部设有开口，多个强磁定位柱固定于工作舱的底部并分布于开口的周围，开关按钮位于工作舱的侧壁上，储存室门的活动连接于储存室的一面，储存室位于工作舱的下方并通过开口与工作舱连通。本实用新型的蓝膜剥离装置可以有效避免蓝膜剥离过程中受力不均，解决晶圆铁环在蓝膜剥离后发生变形、留有残胶的问题。
本实用新型一种蓝膜剥离装置在权利要求书中公布了：1.一种蓝膜剥离装置，其特征在于，包括： 工作舱及舱门，所述舱门活动连接于所述工作舱的一面，所述工作舱中设有机械臂、环形压膜器及多个强磁定位柱，所述机械臂的顶端固定于所述工作舱的顶部，所述机械臂的底端与所述环形压膜器连接，所述工作舱的底部设有开口，多个所述强磁定位柱固定于所述工作舱的底部并分布于所述开口的周围； 开关按钮，位于所述工作舱的侧壁上； 储存室及储存室门，所述储存室门的活动连接于所述储存室的一面，所述储存室位于所述工作舱的下方并通过所述开口与所述工作舱连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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