北京和利时智能技术有限公司马慧璟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和利时智能技术有限公司申请的专利一种自动化物料规整机构的规整组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223743598U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423204424.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种自动化物料规整机构的规整组件是由马慧璟;陈建辉;滑综迁;燕佳琦设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动化物料规整机构的规整组件在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体设备技术领域,提供一种自动化物料规整机构的规整组件,包括:到位规整组件,包括第一固定板和用于带动第一固定板竖直升降的升降机构,第一固定板上设有规整板组件和用于带动规整板组件平移的第一平移机构,规整板组件包括顶推板和规整板,顶推板的一侧连接于第一平移机构,规整板通过弹簧机构弹性连接在顶推板的另一侧;定位组件,包括连接在顶升机构上的第二固定板,第二固定板上设有用于带动升降机构平移的第二平移机构。本申请通过在规整板和顶推板之间设置弹簧机构,能够达到缓冲的作用,降低对硅片造成损害的风险。
本实用新型一种自动化物料规整机构的规整组件在权利要求书中公布了:1.一种自动化物料规整机构的规整组件,连接在顶升机构上并用于规整物料,其特征在于,包括: 到位规整组件,包括第一固定板和用于带动所述第一固定板竖直升降的升降机构,所述第一固定板上设有规整板组件和用于带动所述规整板组件平移的第一平移机构,所述规整板组件包括顶推板和规整板,所述顶推板的一侧连接于所述第一平移机构,所述规整板通过弹簧机构弹性连接在所述顶推板的另一侧; 定位组件,包括连接在所述顶升机构上的第二固定板,所述第二固定板上设有用于带动所述升降机构平移的第二平移机构。
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