睿励科学仪器(上海)有限公司赵巧成获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种晶圆坐标识别装置及半导体量测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743597U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423150124.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆坐标识别装置及半导体量测设备是由赵巧成;陈利军设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆坐标识别装置及半导体量测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆坐标识别装置及半导体量测设备，本实用新型的晶圆坐标识别装置包括至少一个数字激光器，数字激光器沿待测晶圆的法线方向设置，并且数字激光器在晶圆上的投影位于晶圆的边缘区域，数字激光器包括发射端及接收端。发射端和接收端沿晶圆的法线方向位于晶圆的两侧，发射端用于向晶圆发射光信号，接收端用于接收穿过晶圆的光信号。本实用新型的晶圆坐标识别装置通过数字激光器直接识别晶圆边缘的坐标，提高了晶圆边缘坐标的识别效率，最终提高了半导体设备的检测速度。
本实用新型一种晶圆坐标识别装置及半导体量测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆坐标识别装置，其特征在于，包括至少一个数字激光器，所述数字激光器沿待测晶圆的法线方向设置，并且所述数字激光器在所述晶圆上的投影位于所述晶圆的边缘区域，所述数字激光器包括： 发射端及接收端，所述发射端和所述接收端沿所述晶圆的法线方向位于所述晶圆的两侧，所述发射端用于向所述晶圆发射光信号，所述接收端用于接收穿过所述晶圆的光信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿励科学仪器(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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