北京金竟科技有限责任公司何超获国家专利权
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龙图腾网获悉北京金竟科技有限责任公司申请的专利一种用于等离子清洗的真空加热排气台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223743592U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423174224.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于等离子清洗的真空加热排气台是由何超;王政领设计研发完成，并于2024-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于等离子清洗的真空加热排气台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空排气技术领域，特别是涉及一种用于等离子清洗的真空加热排气台。本实用新型包括腔室、热屏蔽部件、支撑架、等离子体、加热盘管、分子泵、机械泵，机械泵设置于支撑架的内侧底部；分子泵设置于所述支撑架的内侧顶部；热屏蔽部件设置于所述支撑架的外侧顶部；腔室为所述热屏蔽部件的内部空间，所述腔室内设置有待加热样品；加热盘管设置于所述腔室内；等离子体固定于所述热屏蔽部件的顶部。本实用新型的零件在受热烘烤的同时可以加上plasma清洗，零件可以多种方式进行排气，降低了零件在超高真空环境的放气率。本实用新型使用plasma清洗，提高表面的光洁度，降低被清洗物件的放气率，有效提高零件在超高真空下的真空度。
本实用新型一种用于等离子清洗的真空加热排气台在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子清洗的真空加热排气台，其特征在于，包括： 机械泵7，其设置于支撑架3的内侧底部； 分子泵6，其设置于所述支撑架3的内侧顶部； 热屏蔽部件2，其设置于所述支撑架3的外侧顶部； 腔室1，其为所述热屏蔽部件2的内部空间，所述腔室1内设置有待加热样品； 加热盘管5，其设置于所述腔室1内； 等离子体4，其固定于所述热屏蔽部件2的顶部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京金竟科技有限责任公司，其通讯地址为：100096 北京市海淀区西三旗建材城内建中路金隅智造工场0号1层138；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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