合肥芯兴半导体材料有限公司陈迎松获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯兴半导体材料有限公司申请的专利一种光掩膜和护膜的贴合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223742937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520340324.3，技术领域涉及：G03F1/48；该实用新型一种光掩膜和护膜的贴合装置是由陈迎松设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光掩膜和护膜的贴合装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光掩膜和护膜的贴合装置，包括底座、光掩膜治具与护膜治具，所述底座顶部固定连接有侧架一与侧架二，所述侧架一与侧架二之间固定连接有滑杆。本申请中，将光掩膜与护膜安装到对应的治具中，将光掩膜治具外侧额的凸条插接到结合槽中，以此实现光掩膜治具与基座二的连接，将护膜治具通过底部的卡槽卡扣到凸块外侧，以此实现护膜治具与基座一的连接，推动件输出端联动推块，推块推动基座一，基座一联动基座二，直至基座二抵接固定板，此时光掩膜与护膜相贴合，维持指定时间后，推动件带动推块复位，以此实现光掩膜与护膜的贴合，降低了操作人员的工作强度的同时，保证了光掩膜与护膜对位的准确性。
本实用新型一种光掩膜和护膜的贴合装置在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜和护膜的贴合装置，包括底座1、光掩膜治具9与护膜治具10，其特征在于，所述底座1顶部固定连接有侧架一2与侧架二3，所述侧架一2与侧架二3之间固定连接有滑杆5，所述滑杆5外表壁固定连接有固定板8，所述滑杆5外表壁滑动连接有基座一6与基座二7，所述基座二7与光掩膜治具9以及基座一6与护膜治具10均为可拆卸连接，且所述侧架二3外侧设置有用于基座一6与基座二7推动的推动组件。
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