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深圳傲威半导体有限公司吴昊获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳傲威半导体有限公司申请的专利一种晶圆检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223742344U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423254324.6,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型一种晶圆检测装置是由吴昊;陆亚斌;王成设计研发完成,并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种晶圆检测装置,包括工作台、固定机构和检测机构,工作台一侧设置有安装架;固定机构包括固定盘和多个固定环,固定盘设置于工作台表面,固定盘表面开设有多个呈同心圆排布的固定槽,固定槽边缘均匀开设有多个固定孔,多个固定环的直径分别与多个固定槽一一对应,固定环底部对应于固定孔设置有固定块,固定块可插入固定孔内;检测机构包括依次设置于安装架上的激光发生器、CCD检测器、同轴光发生器以及邻近安装架设置的控制器,激光发生器、CCD检测器以及同轴光发生器均处于固定盘上方,且三者均电连接于控制器。本实用新型技术方案旨在能够快速便捷地针对不同尺寸的晶圆进行更换检测,省时省力,有助于提高工作效率。

本实用新型一种晶圆检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆检测装置,其特征在于,包括: 工作台1,所述工作台1一侧设置有安装架11; 固定机构,包括固定盘2和多个固定环3,所述固定盘2设置于所述工作台1表面,所述固定盘2表面开设有多个呈同心圆排布的固定槽21,所述固定槽21边缘均匀开设有多个固定孔22,多个所述固定环3的直径分别与多个固定槽21一一对应,所述固定环3底部对应于所述固定孔22设置有固定块31,所述固定块31可插入所述固定孔22内; 检测机构,包括依次设置于所述安装架11上的激光发生器4、CCD检测器5、同轴光发生器6以及邻近所述安装架11设置的控制器7,所述激光发生器4、CCD检测器5以及同轴光发生器6均处于所述固定盘2上方,且三者均电连接于所述控制器7。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳傲威半导体有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区新安街道龙井二路3号中粮大厦1603B;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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