无锡中微掩模电子有限公司杨长华获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡中微掩模电子有限公司申请的专利一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223742314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423215242.0，技术领域涉及：G01N21/64；该实用新型一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备是由杨长华;李嘉;单越设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备，其包括安装架，所述安装架上设置有用于放置掩模版并能带动所放置的掩模版以一定角度进行转动的掩模版放置组件以及用于对掩模版放置组件进行清洁的清洁组件，所述安装架顶端的两侧分别安装有用于转运检测合格掩模版的第一机械手以及用于将待检测掩模版转运到所述掩模版放置组件的第三机械手，所述安装架顶端的后端安装有用于转运检测不合格掩模版的第二机械手。本实用新型不仅实现了自动对掩模版表面上的颗粒物进行检测，还可同时对掩模版两侧表面上的颗粒物进行检测，且对掩模版表面颗粒物检测的过程中，能够去除检测过程中掩模版所残留下的颗粒物，提高了检测精度。
本实用新型一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备在权利要求书中公布了：1.一种光照式掩模版表面颗粒物检测设备，包括安装架100，其特征在于：所述安装架100上设置有用于放置掩模版并能带动所放置的掩模版以一定角度进行转动的掩模版放置组件700以及用于对掩模版放置组件700进行清洁的清洁组件600，所述安装架100顶端的两侧分别安装有用于转运检测合格掩模版的第一机械手200以及用于将待检测掩模版转运到所述掩模版放置组件700的第三机械手500，所述安装架100顶端的后端安装有用于转运检测不合格掩模版的第二机械手400，所述安装架100顶端的前端安装有用于检测掩模版下表面颗粒物的第二颗粒物检测组件800，所述第二颗粒物检测组件800的正上方设置有用于检测掩模版上表面颗粒物的第一颗粒物检测组件300。
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